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透射電鏡與掃描電鏡

透射電鏡與掃描電鏡

實(shí)驗(yàn)介紹

      透射電子顯微鏡(transmission electron microscope,TSE)是利用透射電子成像,因而要求樣品極薄厚度不能超100nm。其結(jié)構(gòu)包括三大部分:電子學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng)。


       掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscopy,SEM) 是利用聚焦的非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測(cè)試樣表面形貌的觀(guān)察。其結(jié)構(gòu)由真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)組成。


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